Boron Trichloride (BCL3)არის არაორგანული ნაერთი, რომელიც ჩვეულებრივ გამოიყენება მშრალი და ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) პროცესებში ნახევარგამტარული წარმოებაში. ეს არის უფერო გაზი, რომელსაც აქვს ძლიერი მგრძნობიარე სუნი ოთახის ტემპერატურაზე და მგრძნობიარეა ტენიანი ჰაერის მიმართ, რადგან ის ჰიდროლიზდება ჰიდროქლორინის მჟავისა და ბორის მჟავის წარმოქმნის მიზნით.

ბორის ტრიქლორიდის განაცხადები

ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში,ბორონის ტრიქლორიდიძირითადად გამოიყენება ალუმინის მშრალი ხრახნისთვის და როგორც დოპანტი, რომ შექმნას p- ტიპის რეგიონები სილიკონის ძაფებზე. იგი ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას ისეთი მასალების გასწვრივ, როგორიცაა GAAS, SI, ALN და, როგორც ბორის წყარო გარკვეულ სპეციფიკურ პროგრამებში. გარდა ამისა, ბორის ტრიქლორიდი ფართოდ გამოიყენება ლითონის დამუშავებაში, შუშის ინდუსტრიაში, ქიმიურ ანალიზსა და ლაბორატორიულ კვლევაში.

ბორის ტრიქლორიდის უსაფრთხოება

ბორონის ტრიქლორიდიკოროზიული და ტოქსიკურია და შეიძლება სერიოზული ზიანი მიაყენოს თვალებსა და კანს. ის ჰიდროლიზდება ტენიან ჰაერში, რომ გაათავისუფლოს ტოქსიკური წყალბადის ქლორიდის გაზი. აქედან გამომდინარე, საჭიროა უსაფრთხოების შესაბამისი ზომების მიღებაბორონის ტრიქლორიდი, მათ შორის დამცავი ტანსაცმლის, სათვალეების და რესპირატორული დაცვის აღჭურვილობის ტარება და კარგად ვენტილაციურ გარემოში მუშაობა.