ბორის ტრიქლორიდი (BCl3)არის არაორგანული ნაერთი, რომელიც ხშირად გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოებაში მშრალი გრავირებისა და ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) პროცესებში. ეს არის უფერო აირი ოთახის ტემპერატურაზე ძლიერი მძაფრი სუნით და მგრძნობიარეა ნოტიო ჰაერის მიმართ, რადგან ჰიდროლიზდება მარილმჟავას და ბორის მჟავას წარმოქმნით.

ბორის ტრიქლორიდის გამოყენება

ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში,ბორის ტრიქლორიდიძირითადად გამოიყენება ალუმინის მშრალი გრავირებისთვის და როგორც დამატენიანებელი სილიციუმის ვაფლებზე P-ტიპის რეგიონების ფორმირებისთვის. მისი გამოყენება ასევე შესაძლებელია ისეთი მასალების გრავირებისთვის, როგორიცაა GaAs, Si, AlN, და როგორც ბორის წყარო გარკვეულ სპეციფიკურ დანიშნულებაში. გარდა ამისა, ბორის ტრიქლორიდი ფართოდ გამოიყენება ლითონის დამუშავებაში, მინის მრეწველობაში, ქიმიურ ანალიზსა და ლაბორატორიულ კვლევებში.

ბორის ტრიქლორიდის უსაფრთხოება

ბორის ტრიქლორიდიარის კოროზიული და ტოქსიკური და შეიძლება გამოიწვიოს თვალებისა და კანის სერიოზული დაზიანება. ის ჰიდროლიზდება ტენიან ჰაერში და გამოყოფს ტოქსიკურ წყალბადის ქლორიდს. ამიტომ, მასთან მუშაობისას საჭიროა შესაბამისი უსაფრთხოების ზომების მიღება.ბორის ტრიქლორიდი, მათ შორის დამცავი ტანსაცმლის, სათვალეებისა და სასუნთქი გზების დამცავი მოწყობილობების ტარება და კარგად ვენტილირებად გარემოში მუშაობა.