ლაზერული გაზი

ლაზერული გაზი ძირითადად გამოიყენება ელექტრონიკის ინდუსტრიაში ლაზერული გახურებისა და ლითოგრაფიის გაზის წარმოებისთვის. მობილური ტელეფონების ეკრანების ინოვაციისა და გამოყენების სფეროების გაფართოების წყალობით, დაბალი ტემპერატურის პოლისილიციუმის ბაზრის მასშტაბები კიდევ უფრო გაფართოვდება და ლაზერული გახურების პროცესმა მნიშვნელოვნად გააუმჯობესა TFT-ების მუშაობა. ნახევარგამტარების წარმოებისთვის ArF ექსციმერულ ლაზერში გამოყენებულ ნეონის, ფტორის და არგონის გაზებს შორის, ნეონი ლაზერული გაზის ნარევის 96%-ზე მეტს შეადგენს. ნახევარგამტარების ტექნოლოგიის დახვეწასთან ერთად, გაიზარდა ექსციმერული ლაზერების გამოყენება და ორმაგი ექსპოზიციის ტექნოლოგიის დანერგვამ გამოიწვია ArF ექსციმერული ლაზერების მიერ მოხმარებული ნეონის გაზის მოთხოვნის მკვეთრი ზრდა. ელექტრონული სპეციალური აირების ლოკალიზაციის ხელშეწყობით, ადგილობრივ მწარმოებლებს მომავალში უკეთესი ბაზრის ზრდის სივრცე ექნებათ.

ლითოგრაფიული მანქანა ნახევარგამტარების წარმოების ძირითადი აღჭურვილობაა. ლითოგრაფია განსაზღვრავს ტრანზისტორების ზომას. ლითოგრაფიული ინდუსტრიის ჯაჭვის კოორდინირებული განვითარება ლითოგრაფიული მანქანების გარღვევის გასაღებია. შესაბამისი ნახევარგამტარული მასალები, როგორიცაა ფოტორეზისტი, ფოტოლითოგრაფიული გაზი, ფოტონიღაბი და საფარისა და გამჟღავნების მოწყობილობა, მაღალი ტექნოლოგიური შინაარსით გამოირჩევა. ლითოგრაფიული გაზი არის გაზი, რომელსაც ლითოგრაფიული მანქანა წარმოქმნის ღრმა ულტრაიისფერი ლაზერით. სხვადასხვა ლითოგრაფიულ აირებს შეუძლიათ სხვადასხვა ტალღის სიგრძის სინათლის წყაროების წარმოქმნა და მათი ტალღის სიგრძე პირდაპირ გავლენას ახდენს ლითოგრაფიული მანქანის გარჩევადობაზე, რომელიც ლითოგრაფიული მანქანის ერთ-ერთი ბირთვია. 2020 წელს ლითოგრაფიული მანქანების მთლიანი გლობალური გაყიდვები 413 ერთეულს შეადგენს, საიდანაც ASML-ის გაყიდვები 258 ერთეულს შეადგენს 62%-ს, Canon-ის გაყიდვები 122 ერთეულს შეადგენს 30%-ს, ხოლო Nikon-ის გაყიდვები 33 ერთეულს შეადგენს 8%-ს.