წყალბადის ქლორიდიარის უფერო აირი მძაფრი სუნით. მის წყალხსნარს მარილმჟავა ეწოდება, რომელიც ასევე ცნობილია როგორც მარილმჟავა. წყალბადის ქლორიდი წყალში კარგად ხსნადია. 0°C-ზე წყლის 1 მოცულობას შეუძლია დაახლოებით 500 მოცულობის წყალბადის ქლორიდის გახსნა.

მას აქვს შემდეგი თვისებები და მახასიათებლები:

1. მაღალი სისუფთავე

ელექტრონული კლასის სისუფთავეწყალბადის ქლორიდიძალიან მაღალია, ჩვეულებრივ ppm ან უფრო დაბალი დონის, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში მინარევების შეყვანა.

2. ინერტულობა

ეს არის ქიმიურად ინერტული აირი, რომელიც არ რეაგირებს ბევრ სხვა ნივთიერებასთან, რაც ძალიან მნიშვნელოვანია ნახევარგამტარული მასალებისა და აღჭურვილობის დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად.

3. მაღალი სტაბილურობა

ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდიზოგადად, აქვს სტაბილური ქიმიური შემადგენლობა ნახევარგამტარული დამუშავების საიმედოობის უზრუნველსაყოფად.

ნახევარგამტარული დამუშავების პროცესში, ელექტრონული კლასის წყალბადის ქლორიდის ძირითადი გამოყენება მოიცავს:

1. ზედაპირის გაწმენდა და მომზადება

როგორც ეფექტური ზედაპირის გამწმენდი, ელექტრონული კლასისწყალბადის ქლორიდიგამოიყენება სუბსტრატის ზედაპირიდან ოქსიდებისა და მინარევების მოსაშორებლად, ეპიტაქსიური ფენის ან ფირის ხარისხისა და სისუფთავის უზრუნველსაყოფად.

2. ეპიტაქსიური ზრდის დამხმარე საშუალება

ეპიტაქსიური პროცესში ზედაპირული დამუშავების აგენტის სახით გამოყენებისას, ის ხელს უწყობს ეპიტაქსიური ფენის ხარისხის გაუმჯობესებას, ბადის შესაბამისობის გაუმჯობესებას და ბადის დეფექტების წარმოქმნის შემცირებას.

3. სუბსტრატის წინასწარი დამუშავება

ნახევარგამტარული მოწყობილობების მომზადებამდე, ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდიშეიძლება გამოყენებულ იქნას სუბსტრატის ზედაპირის დასამუშავებლად სტაბილური საფუძვლის შესაქმნელად, რაც გააუმჯობესებს ეპიტაქსიურ ფენასა და სუბსტრატს შორის ადჰეზიას.

4. დეპონირების დამხმარე აგენტი

ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) ან ფიზიკური ორთქლის დეპონირების (PVD) პროცესში, ელექტრონული კლასის წყალბადის ქლორიდი შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც აირადი ფაზის გადამცემი საშუალება ნახევარგამტარული მასალების დეპონირების რეაქციაში მონაწილეობის მისაღებად.

5. აირადი ფაზის გადამცემი აგენტი

აირადის ფაზის გადამცემი აგენტის სახით, რეაქციის კამერაში შეჰყავთ სხვა აირისებრი პრეკურსორები, რათა ხელი შეუწყონ დეპონირების სიჩქარისა და მასალის ერთგვაროვნების რეგულირებას.

ეს მახასიათებლები ელექტრონიკის ხარისხს ქმნის.წყალბადის ქლორიდინახევარგამტარული ტექნოლოგიაში მნიშვნელოვანი გადამამუშავებელი აგენტი, რომელსაც მნიშვნელოვანი გავლენა აქვს საბოლოო მოწყობილობის მუშაობასა და საიმედოობაზე.

ნახევარგამტარული დამუშავების გარდა, ელექტრონული ხარისხის წყალბადის ქლორიდს შეუძლია მრავალფეროვანი გამოყენება სხვა სფეროებშიც, მათ შორის: მაღალი სისუფთავის მასალების მომზადება, საწვავის უჯრედები, ნახევარგამტარული მასალების ზრდა, ორთქლის ფაზის ლითოგრაფია, მასალების ანალიზი, ქიმიური კვლევა.

ზოგადად, ელექტრონული კლასისწყალბადის ქლორიდიარის მრავალმხრივი, მაღალი სისუფთავის გაზი, რომელსაც ნახევარგამტარების წარმოების გარეთ ფართო გამოყენება აქვს.