წყალბადის ქლორიდიარის უფერო გაზი, რომელსაც აქვს მგრძნობიარე სუნი. მის წყალხსნარში ჰიდროქლორინის მჟავა უწოდებენ, ასევე ცნობილია როგორც ჰიდროქლორინის მჟავა. წყალბადის ქლორიდი წყალში ძალიან ხსნადია. 0 ° C ტემპერატურაზე, 1 მოცულობის წყალს შეუძლია დაითხოვოს წყალბადის ქლორიდის დაახლოებით 500 მოცულობა.

მას აქვს შემდეგი თვისებები და მახასიათებლები:

1. მაღალი სიწმინდე

ელექტრონული კლასის სიწმინდეწყალბადის ქლორიდიძალიან მაღალია, ჩვეულებრივ, PPM ან ქვედა დონეზე, იმის უზრუნველსაყოფად, რომ არ არის მინარევები ნახევარგამტარული წარმოების პროცესში.

2. ინერტული

ეს არის ქიმიურად ინერტული გაზი, რომელიც არ რეაგირებს ბევრ სხვა ნივთიერებასთან, რაც ძალიან მნიშვნელოვანია ნახევარგამტარული მასალების და აღჭურვილობის დაბინძურების თავიდან ასაცილებლად.

3. მაღალი სტაბილურობა

ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდისაერთოდ აქვს სტაბილური ქიმია, რომ უზრუნველყოს ნახევარგამტარული საიმედო დამუშავების უზრუნველსაყოფად.

ნახევარგამტარული დამუშავებისას, ელექტრონული კლასის წყალბადის ქლორიდის ძირითადი პროგრამები მოიცავს:

1. ზედაპირის გაწმენდა და მომზადება

როგორც ეფექტური ზედაპირის გამწმენდი, ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდიგამოიყენება სუბსტრატის ზედაპირიდან ოქსიდებისა და მინარევების მოსაშორებლად, რათა უზრუნველყოს ეპიტაქსიური ფენის ან ფილმის ხარისხი და სიწმინდე.

2.პიტაქსიური ზრდის დახმარება

გამოიყენება როგორც ზედაპირული დამუშავების აგენტი ეპიტაქსიური პროცესში, იგი ხელს უწყობს ეპიტაქსიური ფენის ხარისხის გაუმჯობესებას, ცხრილების შესატყვისად და შეამციროს ცხრილების დეფექტების წარმოქმნა.

3. სუბსტრატის წინასწარი მკურნალობა

ნახევარგამტარული მოწყობილობების მომზადებამდე, ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდიშეიძლება გამოყენებულ იქნას სუბსტრატის ზედაპირის სამკურნალოდ, სტაბილური ბაზის შესაქმნელად, რათა გააუმჯობესოს ეპიტაქსიური ფენა და სუბსტრატს შორის ადჰეზია.

4. დეპონირების დამხმარე აგენტი

ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) ან ფიზიკური ორთქლის დეპონირების (PVD) პროცესში, ელექტრონული კლასის წყალბადის ქლორიდი შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც გაზის ფაზის გადაცემის საშუალება, რათა მონაწილეობა მიიღოს ნახევარგამტარული მასალების დეპონირების რეაქციაში.

5. გაზის ფაზის გადაცემის აგენტი

როგორც გაზის ფაზის გადაცემის აგენტი, სხვა აირის წინამორბედები შემოვიდნენ რეაქციის პალატაში, რათა ხელი შეუწყონ დეპონირების სიჩქარეს და მასალის ერთგვაროვნებას.

ეს მახასიათებლები ელექტრონულ კლასს ქმნისწყალბადის ქლორიდიმნიშვნელოვანი გადამამუშავებელი აგენტი ნახევარგამტარული ტექნოლოგიაში, რომელსაც აქვს მნიშვნელოვანი გავლენა საბოლოო მოწყობილობის შესრულებაზე და საიმედოობაზე.

გარდა ნახევარგამტარული დამუშავებისას, ელექტრონული კლასის წყალბადის ქლორიდს შეუძლია იპოვოთ მრავალფეროვანი გამოყენება სხვა სფეროებში, მათ შორის: მაღალი სიწმინდის მასალების, საწვავის უჯრედების, ნახევარგამტარული მასალების ზრდა, ორთქლის ფაზის ლითოგრაფია, მატერიალური ანალიზი, ქიმიური კვლევა.

ზოგადად, ელექტრონული კლასიწყალბადის ქლორიდიმრავალმხრივი, მაღალი სიწმინდის გაზია, რომელსაც აქვს ფართო სპექტრი პროგრამები ნახევარგამტარული წარმოების გარეთ.