ნახევარგამტარული ვაფლის სამსხმელოების წარმოების პროცესში, შედარებით მოწინავე წარმოების პროცესებით, საჭიროა თითქმის 50 სხვადასხვა ტიპის გაზები. გაზები ზოგადად იყოფა ნაყარი აირებად დასპეციალური აირები.

გაზების გამოყენება მიკროელექტრონიკასა და ნახევარგამტარული ინდუსტრიების გამოყენებით გაზების გამოყენებამ ყოველთვის მნიშვნელოვანი როლი ითამაშა ნახევარგამტარული პროცესებში, განსაკუთრებით ნახევარგამტარული პროცესები ფართოდ გამოიყენება სხვადასხვა ინდუსტრიებში. ULSI– დან, TFT-LCD– დან მიმდინარე მიკრო ელექტრომექანიკური (MEMS) ინდუსტრიისგან, ნახევარგამტარული პროცესები გამოიყენება როგორც პროდუქტის წარმოების პროცესები, მათ შორის მშრალი ხრახნიანი, დაჟანგვა, იონური იმპლანტაცია, თხელი ფილმის დეპონირება და ა.შ.

მაგალითად, ბევრმა იცის, რომ ჩიპები დამზადებულია ქვიშისგან, მაგრამ ჩიპების წარმოების მთელ პროცესს ეძებს, საჭიროა მეტი მასალები, მაგალითად, ფოტომასისტი, გაპრიალებული სითხე, სამიზნე მასალა, სპეციალური გაზი და ა.შ. უკანა შეფუთვა ასევე მოითხოვს სუბსტრატებს, ინტერპოზიტებს, ტყვიის ჩარჩოებს, შემაკავშირებელ მასალებს და ა.შ. ელექტრონული სპეციალური აირები არის მეორე უდიდესი მასალა ნახევარგამტარული წარმოების ხარჯებში, სილიკონის ძაფების შემდეგ, რასაც მოჰყვება ნიღბები და ფოტომორისტები.

გაზის სიწმინდეს გადამწყვეტ გავლენას ახდენს კომპონენტის შესრულებაზე და პროდუქტის მოსავლიანობაზე, ხოლო გაზის მიწოდების უსაფრთხოება დაკავშირებულია პერსონალის ჯანმრთელობასთან და ქარხნის ოპერაციის უსაფრთხოებასთან. რატომ ახდენს გაზის სიწმინდეს ასეთი დიდი გავლენა პროცესის ხაზზე და პერსონალზე? ეს არ არის გაზვიადება, მაგრამ განისაზღვრება თავად გაზის საშიში მახასიათებლებით.

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის საერთო გაზების კლასიფიკაცია

ჩვეულებრივი გაზი

ჩვეულებრივ გაზს ასევე უწოდებენ ნაყარი გაზს: ის ეხება სამრეწველო გაზს, რომლის სიწმინდის მოთხოვნაა 5N და დიდი წარმოებისა და გაყიდვების მოცულობით. იგი შეიძლება დაიყოს ჰაერის განცალკევების გაზსა და სინთეზურ გაზში, მომზადების სხვადასხვა მეთოდების მიხედვით. წყალბადი (H2), აზოტი (N2), ჟანგბადი (O2), არგონი (A2) და ა.შ .;

სპეციალობის გაზი

სპეციალობის გაზი ეხება სამრეწველო გაზს, რომელიც გამოიყენება კონკრეტულ სფეროებში და აქვს განსაკუთრებული მოთხოვნები სიწმინდის, მრავალფეროვნებისა და თვისებების შესახებ. უმთავრესადSIH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… და ა.შ.

სპიკალური გაზების ტიპები

სპეციალური გაზების ტიპები: კოროზიული, ტოქსიკური, აალებადი, წვის დამხმარე, ინერტული და ა.შ.
ჩვეულებრივ, გამოყენებული ნახევარგამტარული გაზები კლასიფიცირდება შემდეგნაირად:
(i) კოროზიული/ტოქსიკური:HCL、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 nh3 、 ph3 、 cl2 、BCL3…
(ii) აალებადი: H2 、CH4、SIH4、 Ph3 、 ash3 、 sih2cl2 、 b2h6 、 ch2f2 、 ch3f 、 co
(iii) აალებადი: o2 、 cl2 、 n2o 、 nf3
(iv) ინერტული: N2 、CF4C2f6 、C4F8、SF6、 CO2Ne、Kr、 ის

ნახევარგამტარული ჩიპების წარმოების პროცესში, დაახლოებით 50 სხვადასხვა ტიპის სპეციალური გაზები (მოიხსენიება როგორც სპეციალური აირები) გამოიყენება ჟანგვის, დიფუზია, დეპონირება, ეკვრის, ინექციის, ფოტოლითოგრაფიის და სხვა პროცესების დროს, ხოლო პროცესის მთლიანი ნაბიჯები ასობით აღემატება. მაგალითად, PH3 და ASH3 გამოიყენება როგორც ფოსფორისა და დარიშხანის წყაროები იონური იმპლანტაციის პროცესში, F- ზე დაფუძნებული გაზები CF4, CHF3, SF6 და ჰალოგენური გაზები CI2, BCI3, HBR ჩვეულებრივ გამოიყენება Etching– ის პროცესში, SIH4, NH3, N2O– ს შემადგენლობაში, F2/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/kr/ne, kr/ne

ზემოაღნიშნული ასპექტებიდან შეგვიძლია გავიგოთ, რომ მრავალი ნახევარგამტარული გაზები საზიანოა ადამიანის სხეულისთვის. კერძოდ, ზოგიერთი გაზები, როგორიცაა SIH4, თვითგამოცხადებულია. სანამ ისინი გაჟონვას, ისინი ძალადობრივად რეაგირებენ ჟანგბადთან ჰაერში და დაიწყებენ დაწვა; და ASH3 ძალიან ტოქსიკურია. უმნიშვნელო გაჟონვამ შეიძლება ზიანი მიაყენოს ადამიანების ცხოვრებას, ამიტომ განსაკუთრებით მაღალია საკონტროლო სისტემის დიზაინის უსაფრთხოების მოთხოვნები სპეციალური გაზების გამოყენებისთვის.

ნახევარგამტარებს სჭირდებათ მაღალი სიწმინდის გაზები, რომ ჰქონდეთ "სამი გრადუსი"

გაზის სიწმინდე

გაზში მინარევების ატმოსფეროს შინაარსი ჩვეულებრივ გამოიხატება გაზის სიწმინდის პროცენტულად, მაგალითად, 99,9999%. საერთოდ, ელექტრონული სპეციალური გაზების სიწმინდის მოთხოვნა აღწევს 5N-6N- ს და ასევე გამოიხატება მინარევების ატმოსფეროს შინაარსის PPM (ნაწილი მილიონზე), PPB (ნაწილი მილიონზე) და PPT (ნაწილი ტრილიონზე). ელექტრონული ნახევარგამტარული ველს აქვს ყველაზე მაღალი მოთხოვნები სპეციალური გაზების სიწმინდისა და ხარისხის სტაბილურობისთვის, ხოლო ელექტრონული სპეციალური გაზების სიწმინდე ზოგადად აღემატება 6N- ს.

სიმშრალე

გაზში, ან სველში კვალი წყლის შემცველობა, ჩვეულებრივ გამოიხატება Dew წერტილში, მაგალითად, ატმოსფერული Dew Point -70 ℃.

სისუფთავე

გაზში დამაბინძურებელი ნაწილაკების რაოდენობა, ნაწილაკების ნაწილაკების ნაწილაკები, რომელთა ნაწილაკების ზომა μm, გამოიხატება რამდენი ნაწილაკი/მ 3. შეკუმშული ჰაერისთვის, იგი ჩვეულებრივ გამოიხატება მგ/მ 3 -ში გარდაუვალი მყარი ნარჩენებით, რომელიც მოიცავს ნავთობის შემცველობას.