ელექტრონული სპეციალური გაზის შიდა ჩანაცვლების გეგმა ყოვლისმომცველად დაჩქარდა!

2018 წელს, ინტეგრირებული სქემების ელექტრონული გაზის გლობალურმა ბაზარმა მიაღწია 4,512 მილიარდ აშშ დოლარს, რაც წლიურ მონაცემებთან შედარებით 16%-ით გაიზარდა. ნახევარგამტარებისთვის სპეციალური გაზის ელექტრონული ინდუსტრიის ზრდის მაღალმა ტემპმა და ბაზრის უზარმაზარმა ზომამ დააჩქარა ელექტრონული სპეციალური გაზის შიდა ჩანაცვლების გეგმა!

რა არის ელექტრონული გაზი?

ელექტრონული გაზი ეხება ძირითად წყაროს მასალას, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარების, ბრტყელი პანელის დისპლეების, სინათლის დიოდების, მზის უჯრედების და სხვა ელექტრონული პროდუქტების წარმოებაში და ფართოდ გამოიყენება დასუფთავების, ოქროვის, ფირის ფორმირების, დოპინგისა და სხვა პროცესებში. ელექტრონული გაზის გამოყენების ძირითადი სფეროები მოიცავს ელექტრონიკის ინდუსტრიას, მზის უჯრედებს, მობილურ კომუნიკაციებს, მანქანის ნავიგაციას და მანქანის აუდიო და ვიდეო სისტემებს, აერონავტიკას, სამხედრო მრეწველობას და ბევრ სხვა სფეროს.

ელექტრონული სპეციალური გაზი შეიძლება დაიყოს შვიდ კატეგორიად საკუთარი ქიმიური შემადგენლობის მიხედვით: სილიციუმი, დარიშხანი, ფოსფორი, ბორი, ლითონის ჰიდრიდი, ჰალოიდი და ლითონის ალკოქსიდი. ინტეგრირებულ სქემებში გამოყენების სხვადასხვა მეთოდის მიხედვით, ის შეიძლება დაიყოს დოპინგ გაზად, ეპიტაქსიურ გაზად, იონური იმპლანტაციის გაზად, სინათლის დიოდურ გაზად, აირთირებელ გაზად, ორთქლის ქიმიურ გაზად და ბალანსის გაზად. ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში გამოიყენება 110 ერთეულზე მეტი სპეციალური აირი, რომელთაგან 30-ზე მეტი ჩვეულებრივ გამოიყენება.

ზოგადად, ნახევარგამტარების წარმოების ინდუსტრია აირებს ორ ტიპად ყოფს: ჩვეულებრივ გაზებად და სპეციალურ გაზებად. მათ შორის, ხშირად გამოყენებული გაზი ეხება ცენტრალიზებულ მიწოდებას და იყენებს უამრავ გაზს, როგორიცაა N2, H2, O2, Ar, He და ა.შ. სპეციალური გაზი ეხება ზოგიერთ ქიმიურ გაზს, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში, როგორიცაა გაფართოება, იონის ინექცია, შერევა, რეცხვა და ნიღბის ფორმირება, რასაც ჩვენ ახლა ვუწოდებთ ელექტრონულ სპეციალურ გაზს, როგორიცაა მაღალი სისუფთავის SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 და ა.შ.

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის წარმოების მთელ პროცესში, ჩიპების ზრდადან მოწყობილობის საბოლოო შეფუთვამდე, თითქმის ყველა ბმული განუყოფელია ელექტრონული სპეციალური გაზისგან, გამოყენებული გაზის მრავალფეროვნებისა და მაღალი ხარისხის მოთხოვნებისგან, ამიტომ ელექტრონულ გაზს აქვს ნახევარგამტარული მასალები. "საკვები".

ბოლო წლების განმავლობაში, ჩინეთის ძირითადი ელექტრონული კომპონენტები, როგორიცაა ნახევარგამტარები და დისპლეის პანელები, გაიზარდა ახალი წარმოების სიმძლავრით და დიდი მოთხოვნაა ელექტრონული ქიმიური მასალების იმპორტის ჩანაცვლებაზე. ელექტრონული აირების პოზიცია ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში სულ უფრო თვალსაჩინო ხდება. შიდა ელექტრონული გაზის ინდუსტრია სწრაფ ზრდას გამოიწვევს.

ელექტრონულ სპეციალურ გაზს აქვს ძალიან მაღალი მოთხოვნები სისუფთავეზე, რადგან თუ სისუფთავე არ შეესაბამება მოთხოვნებს, მინარევების ჯგუფები, როგორიცაა წყლის ორთქლი და ჟანგბადი ელექტრონულ სპეციალურ გაზში, ადვილად წარმოქმნიან ოქსიდის ფენას ნახევარგამტარის ზედაპირზე, რაც გავლენას ახდენს ელექტრონული მოწყობილობების მომსახურების ვადა, ხოლო ელექტრონული სპეციალური გაზი შეიცავს მინარევების ნაწილაკებს შეიძლება გამოიწვიოს ნახევარგამტარის მოკლე ჩართვა და მიკროსქემის დაზიანება. შეიძლება ითქვას, რომ სიწმინდის გაუმჯობესება სასიცოცხლო როლს თამაშობს ელექტრონული მოწყობილობების წარმოების მოსავლიანობასა და შესრულებაში.

ნახევარგამტარების ინდუსტრიის უწყვეტი განვითარებით, ჩიპების წარმოების პროცესი აგრძელებს გაუმჯობესებას და ახლა მან მიაღწია 5 ნმ-ს, რაც მიუახლოვდება მურის კანონის ზღვარს, რომელიც უდრის ადამიანის თმის დიამეტრის მეოცე მეოცეედს ( დაახლოებით 0,1 მმ). ამრიგად, ეს ასევე აყენებს უფრო მაღალ მოთხოვნებს ნახევარგამტარების მიერ წარმოებული ელექტრონული სპეციალური გაზის სისუფთავეზე.