ელექტრონული სპეციალური გაზის შიდა ჩანაცვლების გეგმა ყოველმხრივ დაჩქარდა!

2018 წელს ინტეგრირებული სქემების გლობალურმა ელექტრონული გაზის ბაზარმა 4.512 მილიარდ აშშ დოლარს მიაღწია, რაც წინა წელთან შედარებით 16%-ით მეტია. ნახევარგამტარების ელექტრონული სპეციალური გაზის ინდუსტრიის მაღალი ზრდის ტემპმა და ბაზრის უზარმაზარმა ზომამ ელექტრონული სპეციალური გაზის შიდა ჩანაცვლების გეგმა დააჩქარა!

რა არის ელექტრონული აირი?

ელექტრონული აირი ეხება ნახევარგამტარების, ბრტყელეკრანიანი დისპლეების, სინათლის გამოსხივების დიოდების, მზის უჯრედების და სხვა ელექტრონული პროდუქტების წარმოებაში გამოყენებულ ძირითად საწყის მასალას და ფართოდ გამოიყენება გაწმენდის, გრავირების, აპკის ფორმირების, დოპირებისა და სხვა პროცესების დროს. ელექტრონული აირის ძირითადი გამოყენების სფეროებია ელექტრონიკის ინდუსტრია, მზის ელემენტები, მობილური კომუნიკაციები, ავტომობილების ნავიგაცია და ავტომობილების აუდიო და ვიდეო სისტემები, აერონავტიკა, სამხედრო მრეწველობა და მრავალი სხვა სფერო.

ელექტრონული სპეციალური აირი შეიძლება დაიყოს შვიდ კატეგორიად მისი ქიმიური შემადგენლობის მიხედვით: სილიციუმი, დარიშხანი, ფოსფორი, ბორი, ლითონის ჰიდრიდი, ჰალოგენი და ლითონის ალკოქსიდი. ინტეგრირებულ სქემებში გამოყენების სხვადასხვა მეთოდის მიხედვით, ის შეიძლება დაიყოს დოპინგის გაზად, ეპიტაქსიის გაზად, იონური იმპლანტაციის გაზად, სინათლის გამოსხივების დიოდის გაზად, გრავირების გაზად, ქიმიური ორთქლის დეპონირების გაზად და ბალანსის გაზად. ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში გამოიყენება 110-ზე მეტი ერთეული სპეციალური აირი, რომელთაგან 30-ზე მეტი ფართოდ გამოიყენება.

ზოგადად, ნახევარგამტარების წარმოების ინდუსტრია გაზებს ორ ტიპად ყოფს: ჩვეულებრივ გაზებად და სპეციალურ გაზებად. მათ შორის, ჩვეულებრივ გამოყენებული გაზი გულისხმობს ცენტრალიზებულ მიწოდებას და დიდი რაოდენობით გაზს მოიხმარს, როგორიცაა N2, H2, O2, Ar, He და ა.შ. სპეციალური გაზი გულისხმობს ზოგიერთ ქიმიურ გაზს, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში, როგორიცაა გაფართოება, იონური ინექცია, შერევა, გარეცხვა და ნიღბის ფორმირება, რასაც ახლა ელექტრონულ სპეციალურ გაზს ვუწოდებთ, როგორიცაა მაღალი სისუფთავის SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 და ა.შ.

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის მთელი წარმოების პროცესში, ჩიპის გამომუშავებიდან დაწყებული მოწყობილობის საბოლოო შეფუთვამდე, თითქმის ყველა რგოლი განუყოფელია ელექტრონული სპეციალური აირისგან, გამოყენებული აირის მრავალფეროვნებისა და მაღალი ხარისხის მოთხოვნებისგან, ამიტომ ელექტრონულ გაზს აქვს ნახევარგამტარული მასალები. „საკვები“.

ბოლო წლებში ჩინეთის ძირითადი ელექტრონული კომპონენტების, როგორიცაა ნახევარგამტარები და დისპლეის პანელები, წარმოების ახალი სიმძლავრეები გაიზარდა და ელექტრონული ქიმიური მასალების იმპორტის ჩანაცვლებაზე დიდი მოთხოვნაა. ნახევარგამტარების ინდუსტრიაში ელექტრონული აირების პოზიცია სულ უფრო მნიშვნელოვანი ხდება. ადგილობრივი ელექტრონული გაზის ინდუსტრია სწრაფ ზრდას გამოიწვევს.

ელექტრონული სპეციალური აირის სისუფთავის მიმართ ძალიან მაღალი მოთხოვნები არსებობს, რადგან თუ სისუფთავე არ შეესაბამება მოთხოვნებს, ელექტრონულ სპეციალურ აირში არსებული მინარევების ჯგუფები, როგორიცაა წყლის ორთქლი და ჟანგბადი, ადვილად წარმოქმნიან ოქსიდურ აპკს ნახევარგამტარის ზედაპირზე, რაც გავლენას ახდენს ელექტრონული მოწყობილობების მომსახურების ვადაზე, ხოლო ელექტრონული სპეციალური აირი შეიცავს მინარევების ნაწილაკებს, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ნახევარგამტარული მოკლე ჩართვა და წრედის დაზიანება. შეიძლება ითქვას, რომ სისუფთავის გაუმჯობესება სასიცოცხლო როლს ასრულებს ელექტრონული მოწყობილობების წარმოების მოსავლიანობასა და მუშაობაში.

ნახევარგამტარების ინდუსტრიის უწყვეტ განვითარებასთან ერთად, ჩიპების წარმოების პროცესი აგრძელებს გაუმჯობესებას და ამჟამად მან 5 ნმ-ს მიაღწია, რაც მურის კანონის ზღვარს უახლოვდება, რაც ადამიანის თმის დიამეტრის ერთი მეოცედის ეკვივალენტურია (დაახლოებით 0.1 მმ). შესაბამისად, ეს ასევე უფრო მაღალ მოთხოვნებს აყენებს ნახევარგამტარების მიერ წარმოებული ელექტრონული სპეციალური აირის სისუფთავეზე.