ჩვენი ქვეყნის ნახევარგამტარული ინდუსტრია და პანელის ინდუსტრია კეთილდღეობის მაღალ დონეს ინარჩუნებენ. აზოტის ტრიფლუორიდი, როგორც შეუცვლელი და უმსხვილესი მოცულობის სპეციალური ელექტრონული გაზი პანელებისა და ნახევარგამტარების წარმოებაში და დამუშავებაში, აქვს ფართო საბაზრო სივრცე.
ჩვეულებრივ, ფტორული შემცველი სპეციალური ელექტრონული გაზები მოიცავსგოგირდის ჰექსაფლუორიდი (SF6), ვოლფრამის ჰექსაფლუორიდი (WF6),ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი (CF4), ტრიფლუორომეთანი (CHF3), აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3), ჰექსაფლუოროეთანი (C2F6) და ოქტაფლუოროპროპანი (C3F8). აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3) ძირითადად გამოიყენება როგორც ფტორული წყაროს წყალბადის ფტორს-ფტორსის გაზის მაღალი ენერგიის ქიმიური ლაზერებისათვის. რეაქციის ენერგიის ეფექტური ნაწილი (დაახლოებით 25%) H2-O2- სა და F2- ს შორის შეიძლება განთავისუფლდეს ლაზერული გამოსხივებით, ამიტომ HF-of ლაზერები ყველაზე პერსპექტიული ლაზერები ქიმიური ლაზერებს შორის.
აზოტის ტრიფლუორიდი არის შესანიშნავი პლაზმური etching გაზი მიკროელექტრონიკის ინდუსტრიაში. სილიკონისა და სილიკონის ნიტრიდის გასაფორმებლად, აზოტის ტრიფლუორიდს უფრო მაღალი მაჩვენებელი და სელექციურობა აქვს, ვიდრე ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი და ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდისა და ჟანგბადის ნარევი, და არ აქვს დაბინძურება ზედაპირზე. განსაკუთრებით ინტეგრირებული მიკროსქემის მასალების ჩათვლით, რომელთა სისქეა 1.5 -ზე ნაკლები სისქით, აზოტის ტრიფლუორიდს აქვს ძალიან შესანიშნავი მაჩვენებელი და სელექციურობა, რის გამოც არ დატოვებს ნარჩენების ზედაპირზე და ასევე არის ძალიან კარგი დასუფთავების აგენტი. ნანოტექნოლოგიის განვითარებით და ელექტრონული ინდუსტრიის ფართომასშტაბიანი განვითარებით, მისი მოთხოვნა ყოველდღიურად გაიზრდება.
როგორც ფტორული შემცველი სპეციალური გაზის ტიპი, აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3) არის ყველაზე დიდი ელექტრონული სპეციალური გაზის პროდუქტი ბაზარზე. ეს ქიმიურად ინერტულია ოთახის ტემპერატურაზე, უფრო აქტიურია ვიდრე ჟანგბადი, უფრო სტაბილური ვიდრე ფტორზე და მარტივად გაუმკლავდეს მაღალ ტემპერატურაზე.
აზოტის ტრიფლუორიდი ძირითადად გამოიყენება როგორც პლაზმური გაზისა და რეაქციის პალატის დასუფთავების აგენტი, შესაფერისია ისეთი სფეროებისთვის, როგორიცაა ნახევარგამტარული ჩიპები, ბრტყელი პანელის დისპლეები, ოპტიკური ბოჭკოები, ფოტოვოლატური უჯრედები და ა.შ.
ფტორთან დაკავშირებული ელექტრონული გაზების სხვა სხვა გაზებთან შედარებით, აზოტის ტრიფლუორიდს აქვს სწრაფი რეაქციის და მაღალი ეფექტურობის უპირატესობა, განსაკუთრებით სილიკონის შემცველი მასალების ასახვისას, როგორიცაა სილიკონის ნიტრიდი, მას აქვს მაღალი და სელექციურობის არეულობა და არ არის ნარჩენების ზედაპირი, და ასევე ძალიან კარგი დასუფთავების შედეგად, ასევე არ არის ნარჩენი, და ასევე არ არის დასუფთავებული აგენტი, და ასევე ძალიან კარგი დასუფთავების შედეგად, და ასევე არ არის დასუფთავებული აგენტი. დამუშავების პროცესის საჭიროებები.
პოსტის დრო: 26-2024 წლის დეკემბერი
