ჩვენი ქვეყნის ნახევარგამტარული და პანელების ინდუსტრია მაღალ აყვავებას ინარჩუნებს. აზოტის ტრიფტორიდი, როგორც შეუცვლელი და უდიდესი მოცულობის სპეციალური ელექტრონული აირი პანელებისა და ნახევარგამტარების წარმოებასა და გადამუშავებაში, ფართო ბაზრის სივრცეს იკავებს.
ხშირად გამოყენებული ფტორის შემცველი სპეციალური ელექტრონული აირები მოიცავსგოგირდის ჰექსაფტორიდი (SF6)ვოლფრამის ჰექსაფტორიდი (WF6),ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი (CF4), ტრიფტორმეთანი (CHF3), აზოტის ტრიფტორიდი (NF3), ჰექსაფტორეთანი (C2F6) და ოქტაფტორპროპანი (C3F8). აზოტის ტრიფტორიდი (NF3) ძირითადად გამოიყენება ფტორის წყაროდ წყალბადის ფტორიდ-ფტორიდის აირის მაღალი ენერგიის ქიმიური ლაზერებისთვის. H2-O2-სა და F2-ს შორის რეაქციის ენერგიის ეფექტური ნაწილი (დაახლოებით 25%) შეიძლება გამოიყოს ლაზერული გამოსხივებით, ამიტომ HF-OF ლაზერები ქიმიურ ლაზერებს შორის ყველაზე პერსპექტიულ ლაზერებს წარმოადგენს.
აზოტის ტრიფტორიდი მიკროელექტრონიკის ინდუსტრიაში შესანიშნავი პლაზმური გრავირების აირია. სილიციუმის და სილიციუმის ნიტრიდის გრავირებისთვის, აზოტის ტრიფტორიდს აქვს უფრო მაღალი გრავირების სიჩქარე და სელექციურობა, ვიდრე ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი და ნახშირბადის ტეტრაფტორიდისა და ჟანგბადის ნარევი და არ აბინძურებს ზედაპირს. განსაკუთრებით 1.5 მიკრომეტრზე ნაკლები სისქის ინტეგრირებული სქემების მასალების გრავირებისას, აზოტის ტრიფტორიდს აქვს ძალიან შესანიშნავი გრავირების სიჩქარე და სელექციურობა, არ ტოვებს ნარჩენებს გრავირებული ობიექტის ზედაპირზე და ასევე ძალიან კარგი საწმენდი საშუალებაა. ნანოტექნოლოგიის განვითარებასთან და ელექტრონიკის ინდუსტრიის მასშტაბურ განვითარებასთან ერთად, მასზე მოთხოვნა დღითიდღე გაიზრდება.
ფტორის შემცველი სპეციალური აირის სახით, აზოტის ტრიფტორიდი (NF3) ბაზარზე არსებული ელექტრონული სპეციალური აირის ყველაზე დიდი პროდუქტია. ის ქიმიურად ინერტულია ოთახის ტემპერატურაზე, უფრო აქტიურია, ვიდრე ჟანგბადი, უფრო სტაბილურია, ვიდრე ფტორი და ადვილად დასამუშავებელია მაღალ ტემპერატურაზე.
აზოტის ტრიფტორიდი ძირითადად გამოიყენება პლაზმური გრავირების გაზად და რეაქციის კამერის გამწმენდ საშუალებად, შესაფერისია ისეთი დარგების წარმოებისთვის, როგორიცაა ნახევარგამტარული ჩიპები, ბრტყელეკრანიანი დისპლეები, ოპტიკური ბოჭკოები, ფოტოელექტრული უჯრედები და ა.შ.
სხვა ფტორის შემცველ ელექტრონულ აირებთან შედარებით, აზოტის ტრიფტორიდს აქვს სწრაფი რეაქციის და მაღალი ეფექტურობის უპირატესობები, განსაკუთრებით სილიციუმის შემცველი მასალების, მაგალითად სილიციუმის ნიტრიდის, გრავირებისას. მას აქვს მაღალი გრავირების სიჩქარე და შერჩევითობა, არ ტოვებს ნარჩენებს გრავირებული ობიექტის ზედაპირზე და ასევე არის ძალიან კარგი საწმენდი საშუალება, არ აბინძურებს ზედაპირს და შეუძლია დააკმაყოფილოს დამუშავების პროცესის საჭიროებები.
გამოქვეყნების დრო: 2024 წლის 26 დეკემბერი
