ყველაზე ხშირად გამოყენებული ელექტრონული სპეციალური აირი - აზოტის ტრიფტორიდი

ფტორის შემცველი სპეციალური ელექტრონული აირები მოიცავსგოგირდის ჰექსაფტორიდი (SF6)ვოლფრამის ჰექსაფტორიდი (WF6),ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი (CF4), ტრიფტორმეთანი (CHF3), აზოტის ტრიფტორიდი (NF3), ჰექსაფტორეთანი (C2F6) და ოქტაფტორპროპანი (C3F8).

ნანოტექნოლოგიების განვითარებასთან და ელექტრონიკის ინდუსტრიის მასშტაბურ განვითარებასთან ერთად, მასზე მოთხოვნა დღითიდღე გაიზრდება. აზოტის ტრიფტორიდი, როგორც შეუცვლელი და ყველაზე ფართოდ გამოყენებული სპეციალური ელექტრონული აირი პანელებისა და ნახევარგამტარების წარმოებასა და დამუშავებაში, ფართო ბაზრის სივრცეს იკავებს.

როგორც ფტორის შემცველი სპეციალური აირის ტიპი,აზოტის ტრიფტორიდი (NF3)არის ელექტრონული სპეციალური აირის პროდუქტი უდიდესი საბაზრო ტევადობით. ის ქიმიურად ინერტულია ოთახის ტემპერატურაზე, მაღალ ტემპერატურაზე უფრო აქტიურია, ვიდრე ჟანგბადი, უფრო სტაბილურია, ვიდრე ფტორი და ადვილად დასამუშავებელია. აზოტის ტრიფტორიდი ძირითადად გამოიყენება პლაზმური გრავირების გაზად და რეაქციის კამერის გამწმენდ საშუალებად და გამოდგება ნახევარგამტარული ჩიპების, ბრტყელეკრანიანი დისპლეების, ოპტიკური ბოჭკოების, ფოტოელექტრული უჯრედების და ა.შ. წარმოების სფეროებში.

სხვა ფტორის შემცველ ელექტრონულ აირებთან შედარებით,აზოტის ტრიფტორიდიმას აქვს სწრაფი რეაქციის და მაღალი ეფექტურობის უპირატესობები. განსაკუთრებით სილიციუმის შემცველი მასალების, მაგალითად სილიციუმის ნიტრიდის, გრავირებისას, მას აქვს მაღალი გრავირების სიჩქარე და შერჩევითობა, რაც არ ტოვებს ნარჩენებს გრავირებული ობიექტის ზედაპირზე. ის ასევე ძალიან კარგი საწმენდი საშუალებაა და არ აბინძურებს ზედაპირს, რაც აკმაყოფილებს დამუშავების პროცესის საჭიროებებს.