ყველაზე გამოყენებული ელექტრონული სპეციალური გაზი - აზოტის ტრიფლუორიდი

ფტორული შემცველი სპეციალური ელექტრონული გაზები მოიცავსგოგირდის ჰექსაფლუორიდი (SF6), ვოლფრამის ჰექსაფლუორიდი (WF6),ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი (CF4), ტრიფლუორომეთანი (CHF3), აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3), ჰექსაფლუოროეთანი (C2F6) და ოქტაფლუოროპროპანი (C3F8).

ნანოტექნოლოგიის განვითარებით და ელექტრონული ინდუსტრიის ფართომასშტაბიანი განვითარებით, მისი მოთხოვნა ყოველდღიურად გაიზრდება. აზოტის ტრიფლუორიდი, როგორც შეუცვლელი და უმსხვილესი სპეციალური ელექტრონული გაზი პანელებისა და ნახევარგამტარების წარმოებისა და დამუშავების პროცესში, აქვს ფართო საბაზრო სივრცე.

როგორც ფტორული შემცველი სპეციალური გაზი,აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3)არის ელექტრონული სპეციალური გაზის პროდუქტი, რომელსაც აქვს ყველაზე დიდი საბაზრო სიმძლავრე. იგი ქიმიურად ინერტულია ოთახის ტემპერატურაზე, უფრო აქტიურია ვიდრე ჟანგბადი მაღალ ტემპერატურაზე, უფრო სტაბილური ვიდრე ფტორზე და ადვილად გაუმკლავდეს. აზოტის ტრიფლუორიდი ძირითადად გამოიყენება როგორც პლაზმური etching გაზი და რეაქციის პალატის დასუფთავების აგენტი, და შესაფერისია ნახევარგამტარული ჩიპების, ბრტყელი პანელის დისპლეების, ოპტიკური ბოჭკოების, ფოტომოლტარული უჯრედების და ა.შ.

შედარებით სხვა ფტორის შემცველი ელექტრონული გაზები,აზოტის ტრიფლუორიდიაქვს სწრაფი რეაქციის და მაღალი ეფექტურობის უპირატესობა. განსაკუთრებით სილიციუმის შემცველი მასალების ეზოში, როგორიცაა სილიკონის ნიტრიდი, მას აქვს მაღალი მაჩვენებელი და სელექციურობა, რის გამოც არ დატოვებს ნარჩენების ზედაპირზე ჩაფლული ობიექტის ზედაპირზე. ის ასევე არის ძალიან კარგი დასუფთავების აგენტი და არ აქვს დაბინძურება ზედაპირზე, რომელსაც შეუძლია დააკმაყოფილოს დამუშავების პროცესის საჭიროებები.