ყველაზე ხშირად გამოყენებული ელექტრონული სპეციალური გაზი - აზოტის ტრიფტორიდი

საერთო ფტორის შემცველი სპეციალური ელექტრონული აირები მოიცავსგოგირდის ჰექსაფტორიდი (SF6)ვოლფრამის ჰექსაფტორიდი (WF6),ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი (CF4), ტრიფტორმეთანი (CHF3), აზოტის ტრიფტორიდი (NF3), ჰექსაფტორეთანი (C2F6) და ოქტაფტორპროპანი (C3F8).

ნანოტექნოლოგიის განვითარებით და ელექტრონიკის ინდუსტრიის ფართომასშტაბიანი განვითარებასთან ერთად, მისი მოთხოვნა დღითიდღე გაიზრდება. აზოტის ტრიფტორს, როგორც შეუცვლელ და ყველაზე ფართოდ გამოყენებულ სპეციალურ ელექტრონულ გაზს პანელებისა და ნახევარგამტარების წარმოებასა და დამუშავებაში, აქვს ფართო ბაზრის სივრცე.

როგორც ფტორის შემცველი სპეციალური გაზის სახეობა,აზოტის ტრიფტორიდი (NF3)არის ელექტრონული სპეციალური გაზის პროდუქტი ყველაზე დიდი საბაზრო ტევადობით. ის ქიმიურად ინერტულია ოთახის ტემპერატურაზე, უფრო აქტიურია ვიდრე ჟანგბადი მაღალ ტემპერატურაზე, უფრო სტაბილურია ვიდრე ფტორი და ადვილად უმკლავდება. აზოტის ტრიფტორიდი ძირითადად გამოიყენება როგორც პლაზმური აირების გაზი და რეაქციის კამერის გამწმენდი აგენტი და შესაფერისია ნახევარგამტარული ჩიპების, ბრტყელი პანელის ეკრანების, ოპტიკური ბოჭკოების, ფოტოელექტრული უჯრედების და ა.შ.

სხვა ფტორის შემცველ ელექტრონულ აირებთან შედარებით,აზოტის ტრიფტორიდიაქვს სწრაფი რეაქციის და მაღალი ეფექტურობის უპირატესობები. განსაკუთრებით სილიციუმის შემცველი მასალების, როგორიცაა სილიციუმის ნიტრიდი, აკრავისას, მას აქვს მაღალი ჭრის სიჩქარე და სელექციურობა, არ ტოვებს ნარჩენებს ამოტვიფრული ობიექტის ზედაპირზე. ის ასევე ძალიან კარგი საწმენდი საშუალებაა და არ გააჩნია ზედაპირის დაბინძურება, რაც შეიძლება დააკმაყოფილოს დამუშავების პროცესის საჭიროებები.