ელექტრონულისპეციალური აირებისპეციალური აირების მნიშვნელოვანი განშტოებაა. ისინი შეაღწევენ ნახევარგამტარების წარმოების თითქმის ყველა რგოლს და წარმოადგენენ შეუცვლელ ნედლეულს ელექტრონული მრეწველობის წარმოებისთვის, როგორიცაა ულტრა ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემები, ბრტყელი პანელის ჩვენების მოწყობილობები და მზის უჯრედები.

ნახევარგამტარულ ტექნოლოგიაში ფართოდ გამოიყენება ფტორის შემცველი აირები. ამჟამად ელექტრონულ გაზის გლობალურ ბაზარზე ფტორის შემცველი ელექტრონული გაზები მთლიანი რაოდენობის დაახლოებით 30%-ს შეადგენს. ფტორის შემცველი ელექტრონული აირები არის სპეციალური ელექტრონული აირების მნიშვნელოვანი კომპონენტი ელექტრონული საინფორმაციო მასალების სფეროში. ისინი ძირითადად გამოიყენება როგორც გამწმენდი და სქელი აგენტები, ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც დოპანტი, ფილმის ფორმირებადი მასალა და ა.შ. ამ სტატიაში ავტორი გაგაცნობთ ფტორის შემცველ გაზებს.

ქვემოთ მოცემულია ჩვეულებრივ გამოყენებული ფტორის შემცველი აირები

აზოტის ტრიფტორიდი (NF3): გაზი, რომელიც გამოიყენება დეპოზიტების გასაწმენდად და მოსაშორებლად, ჩვეულებრივ გამოიყენება რეაქციის კამერებისა და აღჭურვილობის ზედაპირების გასაწმენდად.

გოგირდის ჰექსაფტორიდი (SF6): ფტორირებადი აგენტი, რომელიც გამოიყენება ოქსიდის დეპონირების პროცესებში და როგორც საიზოლაციო აირი საიზოლაციო საშუალებების შესავსებად.

წყალბადის ფტორი (HF): გამოიყენება სილიციუმის ზედაპირიდან ოქსიდების მოსაშორებლად და სილიციუმის და სხვა მასალების ამოსაჭრელად.

აზოტის ფტორი (NF): გამოიყენება ისეთი მასალების ამოსაჭრელად, როგორიცაა სილიციუმის ნიტრიდი (SiN) და ალუმინის ნიტრიდი (AlN).

ტრიფტორმეთანი (CHF3) დატეტრაფტორმეთანი (CF4): გამოიყენება ფტორის მასალების ამოსაღებად, როგორიცაა სილიციუმის ფტორი და ალუმინის ფტორი.

თუმცა, ფტორის შემცველ გაზებს აქვთ გარკვეული საფრთხეები, მათ შორის ტოქსიკურობა, კოროზიულობა და აალებადი.

ტოქსიკურობა

ზოგიერთი ფტორის შემცველი აირები ტოქსიკურია, მაგალითად, წყალბადის ფტორი (HF), რომლის ორთქლი ძალიან გამაღიზიანებელია კანისა და სასუნთქი გზებისთვის და საზიანოა ადამიანის ჯანმრთელობისთვის.

კოროზიულობა

წყალბადის ფტორი და ზოგიერთი ფტორი ძლიერ კოროზიულია და შეიძლება გამოიწვიოს კანის, თვალებისა და სასუნთქი გზების სერიოზული დაზიანება.

აალებადი

ზოგიერთი ფტორი აალებადია და რეაგირებს ჰაერში არსებულ ჟანგბადთან ან წყალთან, რათა გამოიყოს ძლიერი სითბო და ტოქსიკური აირები, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ხანძარი ან აფეთქება.

მაღალი წნევის საშიშროება

ზოგიერთი ფტორირებული აირი ფეთქებადია მაღალი წნევის ქვეშ და საჭიროებს განსაკუთრებულ ზრუნვას გამოყენებისა და შენახვისას.

ზემოქმედება გარემოზე

ფტორის შემცველ აირებს აქვთ მაღალი ატმოსფერული სიცოცხლის ხანგრძლივობა და GWP მნიშვნელობები, რომლებსაც აქვთ დესტრუქციული ეფექტი ატმოსფერული ოზონის შრეზე და შეიძლება გამოიწვიოს გლობალური დათბობა და გარემოს დაბინძურება.

გაზების გამოყენება განვითარებად დარგებში, როგორიცაა ელექტრონიკა, აგრძელებს გაღრმავებას, რაც იწვევს დიდი რაოდენობით ახალ მოთხოვნას სამრეწველო გაზებზე. ძირითადი ელექტრონული კომპონენტების, როგორიცაა ნახევარგამტარები და დისპლეი პანელები მატერიკზე ჩინეთში მომდევნო რამდენიმე წლის განმავლობაში, ისევე როგორც ელექტრონული ქიმიური მასალების იმპორტის ჩანაცვლებაზე ძლიერი მოთხოვნილების საფუძველზე, შიდა ელექტრონული გაზის ინდუსტრია შემოიყვანს ზრდის მაღალი ტემპი.