ელექტრონულისპეციალური აირებისპეციალური გაზების მნიშვნელოვანი ფილიალია. ისინი შეაღწევენ ნახევარგამტარული წარმოების თითქმის ყველა ბმულს და შეუცვლელი ნედლეულია ელექტრონული ინდუსტრიების წარმოებისთვის, როგორიცაა ულტრა მასშტაბის ინტეგრირებული სქემები, ბრტყელი პანელის ჩვენების მოწყობილობები და მზის უჯრედები.

ნახევარგამტარული ტექნოლოგიაში ფართოდ გამოიყენება ფტორთან დაკავშირებული გაზები. ამჟამად, გლობალური ელექტრონული გაზის ბაზარზე, ფტორული შემცველი ელექტრონული გაზები მთლიანი დაახლოებით 30% -ს შეადგენს. ფტორული შემცველი ელექტრონული აირები სპეციალური ელექტრონული გაზების მნიშვნელოვანი კომპონენტია ელექტრონული ინფორმაციული მასალების სფეროში. ისინი ძირითადად გამოიყენება როგორც დასუფთავების აგენტები და ეშმაკების აგენტები, ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც დოპანტები, ფილმის ფორმირების მასალები და ა.შ.

შემდეგ ჩვეულებრივ გამოიყენება ფტორის შემცველი გაზები

აზოტის ტრიფლუორიდი (NF3): გაზი, რომელიც გამოიყენება საბადოების დასუფთავებისა და მოსაშორებლად, რომელიც ჩვეულებრივ გამოიყენება გაწმენდის რეაქციის პალატებისა და აღჭურვილობის ზედაპირებისთვის.

გოგირდის ჰექსაფლუორიდი (SF6): ფლუორინაციური აგენტი, რომელიც გამოიყენება ოქსიდის დეპონირების პროცესებში და როგორც საიზოლაციო გაზი საიზოლაციო მედიის შევსებისთვის.

წყალბადის ფტორიდი (HF): გამოიყენება სილიკონის ზედაპირიდან ოქსიდების მოსაშორებლად და როგორც სილიკონისა და სხვა მასალების გასაფორმებლად.

აზოტის ფტორიდი (NF): გამოიყენება ეტიკეტის მასალები, როგორიცაა სილიკონის ნიტრიდი (ცოდვა) და ალუმინის ნიტრიდი (ALN).

ტრიფლუორომეთანი (CHF3) დატეტროფლუორომეთანი (CF4): გამოიყენება ფტორული მასალებისთვის, როგორიცაა სილიკონის ფტორსა და ალუმინის ფტორს.

ამასთან, ფტორების შემცველ გაზებს აქვთ გარკვეული საფრთხეები, მათ შორის ტოქსიკურობა, კოროზიულობა და აალებადი.

ტოქსიკურობა

ფტორების შემცველი ზოგიერთი გაზები ტოქსიკურია, მაგალითად, წყალბადის ფტორიდი (HF), რომლის ორთქლი ძალიან გამაღიზიანებელია კანისა და რესპირატორული ტრაქტისთვის და მავნეა ადამიანის ჯანმრთელობისთვის.

კოროზიულობა

წყალბადის ფტორიდი და ზოგიერთი ფტორიდი ძალზე კოროზიულია და შეიძლება გამოიწვიოს სერიოზული დაზიანება კანის, თვალებისა და რესპირატორული ტრაქტის მიმართ.

აალებადი

ზოგიერთი ფტორიდი აალებადი და რეაგირებს ჟანგბადთან ან წყალში ჰაერში, რათა გაათავისუფლოს ინტენსიური სითბო და ტოქსიკური აირები, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ხანძარი ან აფეთქება.

მაღალი წნევის საშიშროება

ზოგიერთი ფტორირებული აირები ასაფეთქებელია მაღალი წნევის ქვეშ და საჭიროებს განსაკუთრებულ ზრუნვას გამოყენების და შენახვისას.

გავლენა გარემოზე

ფლუორინის შემცველ აირებს აქვთ ატმოსფერული სიცოცხლის მაღალი მაჩვენებლები და GWP მნიშვნელობები, რამაც დამანგრეველი გავლენა მოახდინა ატმოსფერულ ოზონის ფენაზე და შეიძლება გამოიწვიოს გლობალური დათბობა და გარემოს დაბინძურება.

გაზების გამოყენება განვითარებად სფეროებში, როგორიცაა ელექტრონიკა, აგრძელებს გაღრმავებას, რაც დიდი რაოდენობით ახალი მოთხოვნაა სამრეწველო აირებზე. ძირითადი ელექტრონული კომპონენტების ახალი წარმოების დიდი სიმძლავრის საფუძველზე, როგორიცაა ნახევარგამტარული და აჩვენებს პანელები მატერიკზე ჩინეთში, მომდევნო რამდენიმე წლის განმავლობაში, ისევე როგორც ელექტრონული ქიმიური მასალების იმპორტის ჩანაცვლების ძლიერი მოთხოვნა, შიდა ელექტრონული გაზის ინდუსტრია ზრდის მაღალი ზრდის ტემპში.