ელექტრონულისპეციალური აირებისპეციალური აირების მნიშვნელოვან დარგს წარმოადგენს. ისინი ნახევარგამტარების წარმოების თითქმის ყველა რგოლში აღწევენ და შეუცვლელ ნედლეულს წარმოადგენენ ელექტრონული ინდუსტრიების, როგორიცაა ულტრამასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემები, ბრტყელპანელიანი დისპლეის მოწყობილობები და მზის ელემენტები, წარმოებისთვის.

ნახევარგამტარული ტექნოლოგიების სფეროში ფართოდ გამოიყენება ფტორის შემცველი აირები. ამჟამად, გლობალურ ელექტრონულ აირის ბაზარზე, ფტორის შემცველი ელექტრონული აირები მთლიანი რაოდენობის დაახლოებით 30%-ს შეადგენს. ფტორის შემცველი ელექტრონული აირები ელექტრონული საინფორმაციო მასალების სფეროში სპეციალური ელექტრონული აირების მნიშვნელოვანი კომპონენტია. ისინი ძირითადად გამოიყენება როგორც საწმენდი და გრავირების საშუალებები, ასევე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც დამატენიანებელი, აპკის წარმომქმნელი მასალები და ა.შ. ამ სტატიაში ავტორი გაგიზიარებთ ფტორის შემცველი აირების გავრცელებულ ანალიზს.

ქვემოთ მოცემულია ფტორის შემცველი აირები, რომლებიც ხშირად გამოიყენება:

აზოტის ტრიფტორიდი (NF3): აირი, რომელიც გამოიყენება ნადების გასაწმენდად და მოსაშორებლად, როგორც წესი, გამოიყენება რეაქციის კამერებისა და აღჭურვილობის ზედაპირების გასაწმენდად.

გოგირდის ჰექსაფტორიდი (SF6)ფტორირების აგენტი, რომელიც გამოიყენება ოქსიდის დალექვის პროცესებში და როგორც საიზოლაციო აირი საიზოლაციო საშუალებების შესავსებად.

წყალბადის ფტორიდი (HF): გამოიყენება სილიციუმის ზედაპირიდან ოქსიდების მოსაშორებლად და როგორც ამოსაღებ საშუალება სილიციუმის და სხვა მასალების ამოსაღებად.

აზოტის ფტორიდი (NF): გამოიყენება ისეთი მასალების ამოსაჭრელად, როგორიცაა სილიციუმის ნიტრიდი (SiN) და ალუმინის ნიტრიდი (AlN).

ტრიფტორმეთანი (CHF3) დატეტრაფტორმეთანი (CF4)გამოიყენება ფტორშემცველი მასალების, როგორიცაა სილიციუმის ფტორიდი და ალუმინის ფტორიდი, ამოსაჭრელად.

თუმცა, ფტორის შემცველ აირებს გარკვეული საფრთხეები აქვთ, მათ შორის ტოქსიკურობა, კოროზიულობა და აალებადობა.

ტოქსიკურობა

ზოგიერთი ფტორის შემცველი აირი ტოქსიკურია, მაგალითად, წყალბადის ფტორი (HF), რომლის ორთქლი ძლიერ გამაღიზიანებელია კანისა და სასუნთქი გზებისთვის და საზიანოა ადამიანის ჯანმრთელობისთვის.

კოროზიულობა

წყალბადის ფტორიდი და ზოგიერთი ფტორიდი ძლიერ კოროზიულია და შეიძლება სერიოზული ზიანი მიაყენოს კანს, თვალებსა და სასუნთქ გზებს.

აალებადი

ზოგიერთი ფტორიდი აალებადია და რეაგირებს ჰაერში არსებულ ჟანგბადთან ან წყალთან, გამოყოფს ძლიერ სითბოს და ტოქსიკურ აირებს, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს ხანძარი ან აფეთქება.

მაღალი წნევის საფრთხე

ზოგიერთი ფტორირებული აირი ფეთქებადია მაღალი წნევის ქვეშ და გამოყენებისა და შენახვისას განსაკუთრებულ სიფრთხილეს საჭიროებს.

გარემოზე ზემოქმედება

ფტორის შემცველ აირებს აქვთ მაღალი ატმოსფერული სიცოცხლის ხანგრძლივობა და GWP მნიშვნელობები, რაც დამანგრეველ გავლენას ახდენს ატმოსფერული ოზონის შრეზე და შეიძლება გამოიწვიოს გლობალური დათბობა და გარემოს დაბინძურება.

გაზების გამოყენება ისეთ ახალ სფეროებში, როგორიცაა ელექტრონიკა, კვლავაც ღრმავდება, რაც სამრეწველო გაზებზე ახალ მოთხოვნას იწვევს. მომდევნო რამდენიმე წლის განმავლობაში კონტინენტურ ჩინეთში ძირითადი ელექტრონული კომპონენტების, როგორიცაა ნახევარგამტარები და დისპლეის პანელები, დიდი რაოდენობით ახალი წარმოების სიმძლავრის, ასევე ელექტრონული ქიმიური მასალების იმპორტის ჩანაცვლების მაღალი მოთხოვნის გათვალისწინებით, ადგილობრივი ელექტრონული გაზის ინდუსტრია მაღალი ზრდის ტემპს მიაღწევს.