რა არისნახშირბადის ტეტრაფტორიდი? რა არის სარგებლობა?
ნახშირბადის ტეტრაფტორიდიტეტრაფტორმეთანი, რომელიც ასევე ცნობილია, როგორც არაორგანული ნაერთი. იგი გამოიყენება სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემების პლაზმური ამოღების პროცესში, ასევე გამოიყენება როგორც ლაზერული გაზი და გამაგრილებელი. ის შედარებით სტაბილურია ნორმალურ ტემპერატურასა და წნევაზე, მაგრამ აუცილებელია თავიდან იქნას აცილებული კონტაქტი ძლიერ ოქსიდანტებთან, აალებადი ან წვადი მასალებით. ნახშირბადის ტეტრაფტორიდი არის არაწვადი გაზი. თუ ის შეხვდება მაღალ სიცხეს, ეს გამოიწვევს კონტეინერის შიდა წნევის მატებას, არსებობს გახეთქვის და აფეთქების საშიშროება. ჩვეულებრივ, მას შეუძლია მხოლოდ ოთახის ტემპერატურაზე თხევადი ამიაკი-ნატრიუმის ლითონის რეაგენტთან ურთიერთქმედება.
ნახშირბადის ტეტრაფტორიდიამჟამად არის ყველაზე დიდი პლაზმური გაზი, რომელიც გამოიყენება მიკროელექტრონულ ინდუსტრიაში. ის შეიძლება ფართოდ იქნას გამოყენებული სილიციუმის, სილიციუმის დიოქსიდის, ფოსფოსილიკატური მინის და სხვა თხელი ფირის მასალების აკრეფაში, ელექტრონული მოწყობილობების ზედაპირის გასაწმენდად, მზის უჯრედების წარმოებაში, ლაზერულ ტექნოლოგიაში, გაზის ფაზის იზოლაციაში, დაბალ ტემპერატურაზე გაგრილებაში, გაჟონვის აღმოჩენის აგენტებში. და სარეცხი საშუალებებს ბეჭდური მიკროსქემის წარმოებაში აქვს დიდი რაოდენობით გამოყენება.
გამოქვეყნების დრო: ნოე-01-2021