რა არისნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი? რა არის გამოყენება?
ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი, ასევე ცნობილია როგორც ტეტროფლუორომეთანი, განიხილება, როგორც არაორგანული ნაერთი. იგი გამოიყენება სხვადასხვა ინტეგრირებული სქემების პლაზმური etching პროცესში, ასევე გამოიყენება როგორც ლაზერული გაზი და მაცივარი. იგი შედარებით სტაბილურია ნორმალური ტემპერატურისა და წნევის პირობებში, მაგრამ აუცილებელია თავიდან აიცილოთ კონტაქტი ძლიერ ოქსიდანტებთან, აალებადი ან აალებადი მასალებით. ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდი არის არა-საყრდენი გაზი. თუ ის შეხვდება მაღალ სითბოს, ეს გამოიწვევს კონტეინერის შიდა წნევას, და არსებობს ბზარი და აფეთქების საფრთხე. ჩვეულებრივ, მას შეუძლია მხოლოდ თხევადი ამიაკის ნატრიუმის ლითონის რეაგენტთან ურთიერთქმედება ოთახის ტემპერატურაზე.
ნახშირბადის ტეტრაფლუორიდიამჟამად არის უმსხვილესი პლაზმური etching გაზი, რომელიც გამოიყენება მიკროელექტრონიკის ინდუსტრიაში. იგი შეიძლება ფართოდ იქნას გამოყენებული სილიკონის, სილიკონის დიოქსიდის, ფოსფოსილიკატური მინისა და სხვა თხელი ფილმის მასალების ჩათვლით, ელექტრონული მოწყობილობების ზედაპირის, მზის უჯრედების წარმოების, ლაზერული ტექნოლოგიის, გაზის ფაზის იზოლაციის, დაბალ ტემპერატურული გამაგრილებლის, გაჟონვის აგენტებისა და დაბეჭდილი მიკრორაიის წარმოების პროგრამებში.
პოსტის დრო: ნოემბერი -01-2021
