კომპონენტი | 99.9999% | ერთეული |
ჟანგბადი (Ar) | ≤0.1 | ppmV |
აზოტი | ≤0.1 | ppmV |
წყალბადი | ≤20 | ppmV |
ჰელიუმი | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
THC | ≤0.1 | ppmV |
ქლოროსილანები | ≤0.1 | ppmV |
დისილოქსანი | ≤0.1 | ppmV |
დისილანი | ≤0.1 | ppmV |
ტენიანობა (H2O) | ≤0.1 | ppmV |
სილანი სილიციუმისა და წყალბადის ნაერთია. ეს არის ზოგადი ტერმინი ნაერთების სერიისთვის, მათ შორის მონოსილანის (SiH4), დისილანის (Si2H6) და ზოგიერთი მაღალი დონის სილიციუმ-წყალბადის ნაერთისთვის. მათ შორის ყველაზე გავრცელებულია მონოსილანი, რომელსაც ზოგჯერ შემოკლებით სილანსაც უწოდებენ. სილანი არის უფერო აირი ნივრის ამაზრზენი სუნით. ხსნადია წყალში, თითქმის უხსნადია ეთანოლში, ეთერში, ბენზოლში, ქლოროფორმში, სილიციუმის ქლოროფორმსა და სილიციუმის ტეტრაქლორიდში. სილანების ქიმიური თვისებები გაცილებით აქტიურია, ვიდრე ალკანების და ადვილად იჟანგება. სპონტანური წვა შეიძლება მოხდეს ჰაერთან კონტაქტის დროს. ის არ რეაგირებს აზოტთან 25°C-ზე დაბლა და არ რეაგირებს ნახშირწყალბადის ნაერთებთან ოთახის ტემპერატურაზე. სილანის ხანძარი და აფეთქება ჟანგბადთან რეაქციის შედეგია. სილანი უკიდურესად მგრძნობიარეა ჟანგბადისა და ჰაერის მიმართ. გარკვეული კონცენტრაციის სილანი ასევე აფეთქებით რეაგირებს ჟანგბადთან -180°C ტემპერატურაზე. სილანი გახდა ყველაზე მნიშვნელოვანი სპეციალური აირი, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარული მიკროელექტრონული პროცესების დროს და გამოიყენება სხვადასხვა მიკროელექტრონული ფირების, მათ შორის ერთკრისტალური ფირების, მიკროკრისტალური, პოლიკრისტალური, სილიციუმის ოქსიდის, სილიციუმის ნიტრიდის და ლითონის სილიციდების დასამზადებლად. სილანის მიკროელექტრონული გამოყენება კვლავ სიღრმისეულად ვითარდება: დაბალი ტემპერატურის ეპიტაქსია, შერჩევითი ეპიტაქსია და ჰეტეროეპიტაქსიური ეპიტაქსია. არა მხოლოდ სილიციუმის მოწყობილობებისა და სილიციუმის ინტეგრალური სქემებისთვის, არამედ რთული ნახევარგამტარული მოწყობილობებისთვისაც (გალიუმის არსენიდი, სილიციუმის კარბიდი და ა.შ.). მას ასევე აქვს გამოყენება სუპერბადის კვანტური ჭის მასალების დასამზადებლად. შეიძლება ითქვას, რომ სილანი თანამედროვე დროში გამოიყენება თითქმის ყველა მოწინავე ინტეგრირებული სქემის წარმოების ხაზში. სილანის, როგორც სილიციუმის შემცველი ფირისა და საფარის გამოყენება გაფართოვდა ტრადიციული მიკროელექტრონული ინდუსტრიიდან სხვადასხვა სფეროებში, როგორიცაა ფოლადი, მანქანათმშენებლობა, ქიმიკატები და ოპტიკა. სილანის კიდევ ერთი პოტენციური გამოყენებაა მაღალი ხარისხის კერამიკული ძრავის ნაწილების წარმოება, განსაკუთრებით სილანის გამოყენება სილიციდის (Si3N4, SiC და ა.შ.) წარმოებისთვის. მიკროფხვნილის ტექნოლოგია სულ უფრო მეტ ყურადღებას იპყრობს.
① ელექტრონული:
ნახევარგამტარების და დალუქვის მასალების წარმოებისას სილანი გამოიყენება სილიკონის ვაფლებზე პოლიკრისტალური სილიციუმის ფენებზე.
②მზის ენერგია:
სილანი გამოიყენება მზის ფოტოელექტრული მოდულების წარმოებაში.
③სამრეწველო:
ის გამოიყენება ენერგოდამზოგავ მწვანე მინაში და ორთქლის დალექვის თხელი ფენის პროცესში.
პროდუქტი | სილან SiH4 სითხე | |
პაკეტის ზომა | 47 ლიტრიანი ცილინდრი | Y-440L |
შევსების წმინდა წონა/ცილინდრი | 10 კგ | 125 კგ |
რაოდენობა ჩატვირთულია 20 ფუტიან კონტეინერში | 250 ცილინდრი | 8 ცილინდრი |
სულ წმინდა წონა | 2.5 ტონა | 1 ტონა |
ცილინდრის ტარის წონა | 52 კგ | 680 კგ |
სარქველი | CGA632/DISS632 |
① ათ წელზე მეტია ბაზარზე;
②ISO სერტიფიკატის მწარმოებელი;
③ სწრაფი მიწოდება;
④ სტაბილური ნედლეულის წყარო;
⑤ ონლაინ ანალიზის სისტემა ხარისხის კონტროლისთვის ყოველ ეტაპზე;
⑥ შევსებამდე ცილინდრის დამუშავების მაღალი მოთხოვნა და საფუძვლიანი პროცესი;
⑦ სისუფთავე: მაღალი სისუფთავის ელექტრონული კლასი;
⑧ გამოყენება: მზის უჯრედების მასალები; მაღალი სისუფთავის პოლისილიციუმის, სილიციუმის ოქსიდის და ოპტიკური ბოჭკოს წარმოება; ფერადი მინის წარმოება.